高精度测高仪518 系列 — 高精度 2D 测量系统

•  带 0.1µm/0.4µm 分辨力 / 重复精度的指示精
度可达 ( 1.1+0.6L/600 ) µm 。
•  高精度测高仪加入了广泛的测量功能。
•  为了达到一流的精度，使用高精度反射性线
性编码器和高精度导轨。
•  测量可以通过图标命令来执行，同时，也
支持一键操作，保证正面的垂直度为 5µm  ，
直线度为 4µm 。
•  使用 TFT 液晶显示屏，以达到完美的可视性
和可操作性。

•  气体全浮 / 半浮系统可以进行空气浮动高度
调整。
•  配有基本的统计功能，另外， RS-232C 数据
输出可通过连接计算机上的 SPC 软件，进行
外部测量数据评估 ( 可选 ) 。
•  精密黑色花岗岩平台，详细信息参见 E-49 页。
•  数据备份 / 恢复，测量工件程序可通过 USB 存
储设备来执行 ( FAT16/32  兼容格式 ) 。

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