三丰TAGLENS自动变焦测量系统

无须调焦即可实现高效率检查
可将TAGLENS安装到显微镜上，用于半导体的缺陷检查。在由基板、 P/N接合部、电极3个平面构成的半导体检查中，以往需要通过调焦进行多次检查。与此相比，使用TAGLENS进行检查时，可同时聚焦于高度不同的多个观察对象，检查一次就完成了，可大幅缩短检查时间。
可同时聚焦高度不同的部位
由于某些工件高度或深度不同，以往需要移动各相机的高度位置进行调焦检查，使用TAGLENS后，不需要进行调焦即可实现瞬间精确检查，可有效缩短检查时间。
移动中的观察对象也可瞬间聚焦
安装在显微镜上，可全面、切实观察焦点不同的浮游物质及来回活动的微生物等观察对象。
无论上下、左右任何位置均可读取
对焦范围广，即使高度、方向不同的检测工件在传送带上传动也能读取，无须上下左右移动相机位置。
新一代变焦镜头『TAGLENS』拥有“即使被测物 高低不同焦点也不会模糊”的优点，
可实现突破性的“高效率观察”。